高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。

在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施，每炼1t钢的氩气消耗量为1～3m3。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用氩作保护气。

高纯氩产品详情：

氩气是无色、无味、单原子的惰性气体，原子量为39．948，密度为 1．78kg／m3（空气密度为 1．29kg／m 3）。氩气的重量是空气的1．4倍，可在熔池上方形成一层稳定的气流层，具有良好的保护性能。另外在焊接过程中，产生的烟雾较少，便于控制焊接熔池和电弧。氩气是一种惰性气体，在常温下与其它物质均不发生化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，故在焊接有色金属时更能显示其优越性氩气是一种单原子气体，在高温下，氩气直接离解为正离子和电子，因此能量损耗低，电弧燃烧稳定。同时分解后的正离子体积和质量较大，对阴极的冲击力很强，具有强烈的阴极破碎作用。

氩气对电弧的冷却作用小，所以电弧在氩气中燃烧时，热量损耗小，稳定性比较好。氩气对电弧的热收缩效应较小，加上氩弧的电位梯度和电流密度不大，维持氩弧燃烧的电压较低，一般10V即可。故焊接时电弧拉长，其电压改变不大，电弧不易熄灭。这点对手工氩弧焊非常有利。氩气是制氧的副产品，因为氩气的沸点介于氧、氮之间，差值很小，所以在氩气中常残留一定数量的杂质。焊接用氩气按我国GB4842－84 （氩气及其检验方法）标准要求，其纯度应达到99．99％。具体技术要求见下表，如果氩气中的杂质含量超过规定标准，在焊接过程中不但影响对熔化金属的保护，而且极易使焊缝产生气孔、夹渣等缺陷，使焊接接头质量变坏，并使钨极的烧损量也增加。

氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP，气相色谱仪等仪器的载气，标准气、平衡气、零点气等。

高纯氩的应用：

不锈钢焊接保护气体

铝合金焊接保护气体

铜合金的焊接保护气体

高纯氩气广泛用于ICP光谱仪

高纯氩气广泛用于节能灯、白炽灯、日光灯的填充气体

高纯氩气用于ArF准分子激光气体

超纯氩气用于电子行业制造

高纯氩注意事项：

氩气管道应该是密封、不漏气。提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。氩气是一种无色、无味、无毒的不燃烧的储存于气瓶中的高压气体。当其含量增加导致氧气含量低于19.5%时有可能引起窒息。配备自吸式呼吸面具。瓶装气体产品为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

1、氩气的理化性质

分子量：39.948

熔点：-189.2℃

沸点(101.325kPa)：-185.9℃

液体密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3

气体密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3

相对密度(0℃，101.325kPa，空气=1)：1.380

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg

临界温度：-122.4℃

临界压力：4864kPa

临界密度：530.7kg/m3

熔化热(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg

汽化热(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg

比热容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) Cv=309.82J/(kg·K)

比热比(25℃，101.325kPa，气体)：Cp/Cv=1.669

粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s

蒸汽压(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa

表面张力(84K)：11.46mN/m

导热系数(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K)

2、氩气的化学性质

氩位于周期表中的零族，原子的最外层有八个电子，形成稳定结构，化学性质极不活泼，在通常情况下，氩气不与其它物质进行反应。但在特殊条件下，可形成水合物。

①氩与水的包合物

两种不同的分子互相结合组成一定的化合物，称为分子化合物。包合物是分子化合物中的一种，通常以大分子包容小分子。包合物能否形成，主要决定于包容分子和被包容分子间的几何因素是否适合。根据主分子所构成的形状，包合物分为管状包合物和笼状包合物。稀有气体基本上被包容在笼状的主分子内，即主分子构成笼状晶体，稀有气体充填其中。

氩气不燃烧，也不助燃。无毒，有窒息性。无腐蚀性。在常温下对任何金属都很稳定，不锈钢、镍钢、铜 、黄铜、硅青铜等，均可作为液体氩使用的金属材料。在常温下，氩气对任何树脂类都很稳定，聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体可以作为氩气使用的衬垫膜板片等材料。

3、氩气的制法

在空气中，氩的含量要比其它稀有气体丰富。因此，氩气的制备是以空气为原料，基制法同氧和氮的制备方法。将空气加压降温，使它液化，然后蒸发，采用精馏分离出氩气。高纯氩气的制备，可以空气分馏塔抽出含氩的馏分经氩塔制成粗氩，再经过化学反应和物理吸附方法，而获得高纯氩气。

4、氩气的应用

高纯氩用于照明技术，填充日光灯、光电管、白炽灯、照明管及飞机制造业；氩用作电弧焊接不锈钢、镁、铝和其它合金铁保护气体；氩用于锆、钛、钽、铍、铌、铀、钍等稀有金属的提炼和焊接技术，液氩用于焊接和冶金等。在半导体材料和器件生产中，特别是制造大规模集成电路，高纯氩气的应用占有重要地位。氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、激光混合气。

5、急救措施

皮肤接触：接触液氩，可形成冻伤。用水冲洗患处，就医。

眼睛接触：液氩溅入眼内，可引起炎症。翻开眼睑用水冲洗，就医。

吸入：将患者移至空气新鲜处。如有呼吸停止，施行呼吸复苏术；如有心跳停止，施行心肺复苏术，就医。

6、消防措施

危险特性：氩本身不燃烧，但盛装氩气容器与设备遇明火高温可使器内压力急剧升高至爆炸，应用水冷却火中容器。

有害燃烧物：无

灭火方法及灭火剂：用水冷却火中容器，用着火环境相适应的灭火剂。泄漏应急处理切断气源，迅速撤离泄漏污染区，处理泄漏事故人员戴自给正压式呼吸器，处理液氩应配带防冻护具。若气瓶泄漏而无法堵漏时，将气瓶移至空旷安全处放空。

高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。

在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施，每炼1t钢的氩气消耗量为1～3m3。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用氩作保护气。

高纯氩产品详情：

氩气是无色、无味、单原子的惰性气体，原子量为39．948，密度为 1．78kg／m3（空气密度为 1．29kg／m 3）。氩气的重量是空气的1．4倍，可在熔池上方形成一层稳定的气流层，具有良好的保护性能。另外在焊接过程中，产生的烟雾较少，便于控制焊接熔池和电弧。氩气是一种惰性气体，在常温下与其它物质均不发生化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，故在焊接有色金属时更能显示其优越性氩气是一种单原子气体，在高温下，氩气直接离解为正离子和电子，因此能量损耗低，电弧燃烧稳定。同时分解后的正离子体积和质量较大，对阴极的冲击力很强，具有强烈的阴极破碎作用。

氩气对电弧的冷却作用小，所以电弧在氩气中燃烧时，热量损耗小，稳定性比较好。氩气对电弧的热收缩效应较小，加上氩弧的电位梯度和电流密度不大，维持氩弧燃烧的电压较低，一般10V即可。故焊接时电弧拉长，其电压改变不大，电弧不易熄灭。这点对手工氩弧焊非常有利。氩气是制氧的副产品，因为氩气的沸点介于氧、氮之间，差值很小，所以在氩气中常残留一定数量的杂质。焊接用氩气按我国GB4842－84 （氩气及其检验方法）标准要求，其纯度应达到99．99％。具体技术要求见下表，如果氩气中的杂质含量超过规定标准，在焊接过程中不但影响对熔化金属的保护，而且极易使焊缝产生气孔、夹渣等缺陷，使焊接接头质量变坏，并使钨极的烧损量也增加。

氩气的主要应用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作ICP，气相色谱仪等仪器的载气，标准气、平衡气、零点气等。

高纯氩的应用：

不锈钢焊接保护气体

铝合金焊接保护气体

铜合金的焊接保护气体

高纯氩气广泛用于ICP光谱仪

高纯氩气广泛用于节能灯、白炽灯、日光灯的填充气体

高纯氩气用于ArF准分子激光气体

超纯氩气用于电子行业制造

高纯氩注意事项：

氩气管道应该是密封、不漏气。提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。氩气是一种无色、无味、无毒的不燃烧的储存于气瓶中的高压气体。当其含量增加导致氧气含量低于19.5%时有可能引起窒息。配备自吸式呼吸面具。瓶装气体产品为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

1、氩气的理化性质

分子量：39.948

熔点：-189.2℃

沸点(101.325kPa)：-185.9℃

液体密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3

气体密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3

相对密度(0℃，101.325kPa，空气=1)：1.380

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg

临界温度：-122.4℃

临界压力：4864kPa

临界密度：530.7kg/m3

熔化热(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg

汽化热(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg

比热容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) Cv=309.82J/(kg·K)

比热比(25℃，101.325kPa，气体)：Cp/Cv=1.669

粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s

蒸汽压(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa

表面张力(84K)：11.46mN/m

导热系数(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K)

2、氩气的化学性质

氩位于周期表中的零族，原子的最外层有八个电子，形成稳定结构，化学性质极不活泼，在通常情况下，氩气不与其它物质进行反应。但在特殊条件下，可形成水合物。

①氩与水的包合物

两种不同的分子互相结合组成一定的化合物，称为分子化合物。包合物是分子化合物中的一种，通常以大分子包容小分子。包合物能否形成，主要决定于包容分子和被包容分子间的几何因素是否适合。根据主分子所构成的形状，包合物分为管状包合物和笼状包合物。稀有气体基本上被包容在笼状的主分子内，即主分子构成笼状晶体，稀有气体充填其中。

氩气不燃烧，也不助燃。无毒，有窒息性。无腐蚀性。在常温下对任何金属都很稳定，不锈钢、镍钢、铜 、黄铜、硅青铜等，均可作为液体氩使用的金属材料。在常温下，氩气对任何树脂类都很稳定，聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体可以作为氩气使用的衬垫膜板片等材料。

3、氩气的制法

在空气中，氩的含量要比其它稀有气体丰富。因此，氩气的制备是以空气为原料，基制法同氧和氮的制备方法。将空气加压降温，使它液化，然后蒸发，采用精馏分离出氩气。高纯氩气的制备，可以空气分馏塔抽出含氩的馏分经氩塔制成粗氩，再经过化学反应和物理吸附方法，而获得高纯氩气。

4、氩气的应用

高纯氩用于照明技术，填充日光灯、光电管、白炽灯、照明管及飞机制造业；氩用作电弧焊接不锈钢、镁、铝和其它合金铁保护气体；氩用于锆、钛、钽、铍、铌、铀、钍等稀有金属的提炼和焊接技术，液氩用于焊接和冶金等。在半导体材料和器件生产中，特别是制造大规模集成电路，高纯氩气的应用占有重要地位。氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、激光混合气。

5、急救措施

皮肤接触：接触液氩，可形成冻伤。用水冲洗患处，就医。

眼睛接触：液氩溅入眼内，可引起炎症。翻开眼睑用水冲洗，就医。

吸入：将患者移至空气新鲜处。如有呼吸停止，施行呼吸复苏术；如有心跳停止，施行心肺复苏术，就医。

6、消防措施

危险特性：氩本身不燃烧，但盛装氩气容器与设备遇明火高温可使器内压力急剧升高至爆炸，应用水冷却火中容器。

有害燃烧物：无

灭火方法及灭火剂：用水冷却火中容器，用着火环境相适应的灭火剂。泄漏应急处理切断气源，迅速撤离泄漏污染区，处理泄漏事故人员戴自给正压式呼吸器，处理液氩应配带防冻护具。若气瓶泄漏而无法堵漏时，将气瓶移至空旷安全处放空。